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半導體器件用鎳鉑靶材制備關鍵技術獲重大突破

雲南日報8月13日消息，經過刻苦攻關，雲南省國際合作計劃專項——“半導體器件用鎳鉑靶材的制備關鍵技術及產業化”取得重大突破，建立了生產線並取得良好經濟效益，鎳鉑靶材替代了進口產品並遠銷海外。日前，由貴研鉑業股份有限公司承擔的該項目通過驗收，總體評價爲優秀。　　項目實施過程中，技術團隊開展了鎳鉑靶的真空熔鑄及塑性加工等方面的研究，在鎳鉑靶的微觀結構及擇優取向控制、含脆性相靶材的塑性加工技術、異型靶材
2018-08-17 16:00:36 鎳鉑靶
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